As паўправадніковыі мікраэлектронныя тэхналогіі развіваюцца ў напрамку больш высокай прадукцыйнасці і большай інтэграцыі, больш высокія патрабаванні прад'яўляюцца да чысціні электронных спецыяльных газаў. Тэхналогія трубаправодаў высокай чысціні з'яўляецца важнай часткай сістэмы забеспячэння газам высокай чысціні. Гэта ключавая тэхналогія для дастаўкі газаў высокай чысціні, якія адпавядаюць патрабаванням да пунктаў выкарыстання газу і пры гэтым захоўваюць кваліфікаваную якасць.
Тэхналогія трубаправодаў высокай чысціні ўключае правільную канструкцыю сістэмы, выбар трубаправоднай арматуры і дапаможных матэрыялаў, будаўніцтва і мантаж, а таксама выпрабаванні.
01 Агульная канцэпцыя газатранспартных трубаправодаў
Усе газы высокай чысціні неабходна транспартаваць да канцавога газаправода па трубаправодах. Для задавальнення патрабаванняў якасці працэсу для газу, калі індэкс экспарту газу пэўны, больш неабходна звярнуць увагу на выбар матэрыялу і якасць канструкцыі трубаправоднай сістэмы. Акрамя дакладнасці абсталявання для вытворчасці або ачысткі газу, на яе ў значнай ступені ўплываюць многія фактары трубаправоднай сістэмы. Такім чынам, пры выбары труб неабходна выконваць адпаведныя прынцыпы ачышчальнай прамысловасці і пазначаць матэрыял труб на чарцяжах.
02 Значэнне трубаправодаў высокай чысціні ў транспарціроўцы газу
Значэнне трубаправодаў высокай чысціні ў транспарціроўцы газу высокай чысціні У працэсе выплаўлення нержавеючай сталі кожная тона можа паглынуць каля 200 г газу. Пасля апрацоўкі нержавеючай сталі на яе паверхні не толькі застаюцца розныя забруджвальныя рэчывы, але і некаторая колькасць газу паглынаецца яе металічнай рашоткай. Калі праз трубаправод праходзіць паветраны паток, частка газу, паглынутая металам, зноў трапляе ў паветраны паток і забруджвае чысты газ.
Калі паток паветра ў трубе перарывісты, труба ўтварае адсорбцыю пад ціскам на газ, які праходзіць праз яе. Калі паток паветра перастае праходзіць, газ, адсарбаваны трубой, утварае аналіз зніжэння ціску, і аналізаваны газ таксама трапляе ў чысты газ у трубе ў якасці прымешкі.
У той жа час цыкл адсорбцыі і аналізу прымусіць метал на ўнутранай паверхні трубы вырабляць пэўную колькасць парашка. Гэтая металічная пылінка таксама забруджвае чысты газ у трубе. Гэтая характарыстыка трубы вельмі важная. Для забеспячэння чысціні газу, які транспартуецца, патрабуецца не толькі высокая гладкасць ўнутранай паверхні трубы, але і высокая зносаўстойлівасць.
Калі газ валодае моцнымі каразійнымі ўласцівасцямі, для трубаправодаў неабходна выкарыстоўваць трубы з нержавеючай сталі, устойлівыя да карозіі. У адваротным выпадку з-за карозіі на ўнутранай паверхні трубы з'явяцца плямы карозіі. У цяжкіх выпадках вялікія кавалкі металу адслойваюцца або нават перфаруюць, забруджваючы такім чынам чысты газ, які транспартуецца.
03Матэрыял труб
Выбар матэрыялу трубы павінен быць выбраны ў адпаведнасці з патрэбамі выкарыстання. Якасць трубы звычайна вымяраецца ў залежнасці ад шурпатасці ўнутранай паверхні трубы. Чым ніжэй шурпатасць, тым менш верагоднасць перанясення часціц. Звычайна падзяляюць на тры тыпу:
Адзін ёсцьТруба EP маркі 316L, які быў электралітычна паліраваны (Electro-Polish). Ён устойлівы да карозіі і мае нізкую шурпатасць паверхні. Rmax (максімальная вышыня ад піка да западзіны) складае каля 0,3 мкм або менш. Ён мае найвышэйшую плоскасць і нялёгка ўтварае микровихревые токі. Выдаліць забруджаныя часціцы. Рэакцыйны газ, які выкарыстоўваецца ў працэсе, павінен быць пададзены на гэтым узроўні.
Адзін з іх - аBA клас 316Lтруба, якая была апрацавана Bright Anneal і часта выкарыстоўваецца для газаў, якія знаходзяцца ў кантакце з чыпам, але не ўдзельнічаюць у працэсе рэакцыі, такіх як GN2 і CDA. Адным з іх з'яўляецца труба AP (адпал і выбар), якая не падвяргаецца спецыяльнай апрацоўцы і звычайна выкарыстоўваецца для здвоеных камплектаў знешніх труб, якія не выкарыстоўваюцца ў якасці ліній падачы газу.
04 Будаўніцтва трубаправодаў
Апрацоўка вусця трубы - адзін з ключавых момантаў гэтай будаўнічай тэхналогіі. Рэзка і зборка трубаправода праводзяцца ў чыстым асяроддзі, і ў той жа час гарантуецца, што на паверхні трубаправода перад рэзкай няма шкодных слядоў або пашкоджанняў. Перад адкрыццём трубаправода неабходна вырабіць падрыхтоўку да прамывання трубаправода азотам. У прынцыпе, зварка выкарыстоўваецца для злучэння газаправодаў перадачы і размеркавання высокай чысціні з вялікім расходам, але прамая зварка недапушчальная. Павінны быць выкарыстаны злучэння абсадных труб, а структура выкарыстоўванага матэрыялу трубы не павінна змяняцца падчас зваркі. Пры зварцы матэрыялу з занадта высокім утрыманнем вугляроду паветрапранікальнасць зварачнай часткі прывядзе да таго, што газ ўнутры і звонку трубы будзе пранікаць адзін у аднаго, парушаючы чысціню, сухасць і чысціню транспартуючага газу, што прывядзе да сур'ёзных наступстваў і паўплываць на якасць прадукцыі.
Такім чынам, для газаправодаў высокай чысціні і спецыяльных газаправодаў неабходна выкарыстоўваць спецыяльна апрацаваную трубу з нержавеючай сталі высокай чысціні, у выніку чаго сістэма трубаправодаў высокай чысціні (уключаючы трубаправоды, трубаправодную арматуру, клапаны, ВМБ, ВМП) займае жыццёва важная місія ў размеркаванні газу высокай чысціні.
Час публікацыі: 26 лістапада 2024 г