As паўправаднікі мікраэлектронныя тэхналогіі развіваюцца ў напрамку павышэння прадукцыйнасці і большай інтэграцыі, таму да чысціні спецыяльных электронных газаў прад'яўляюцца больш высокія патрабаванні. Тэхналогія газаправодаў высокай чысціні з'яўляецца важнай часткай сістэмы падачы высокачыстага газу. Гэта ключавая тэхналогія для падачы высокачыстых газаў, якія адпавядаюць патрабаванням, да пунктаў спажывання газу, захоўваючы пры гэтым кваліфікаваную якасць.
Тэхналогія трубаправодаў высокай чысціні ўключае ў сябе правільнае праектаванне сістэмы, выбар трубаправоднай арматуры і дапаможных матэрыялаў, будаўніцтва, мантаж і выпрабаванні.
01Агульная канцэпцыя газаправодаў
Усе газы высокай чысціні і ступені ачысткі павінны транспартавацца да канцавога пункта газаперапрацоўкі па трубаправодах. Каб задаволіць патрабаванні да якасці працэсу газаперапрацоўкі, пры пэўным індэксе экспарту газу неабходна звярнуць увагу на выбар матэрыялаў і якасць вырабу трубаправоднай сістэмы. Акрамя дакладнасці абсталявання для вытворчасці або ачысткі газу, на яе ў значнай ступені ўплывае мноства фактараў трубаправоднай сістэмы. Таму выбар труб павінен адпавядаць адпаведным прынцыпам ачышчальнай прамысловасці і маркіраваць матэрыялы труб на чарцяжах.
02 Значэнне высокачыстых трубаправодаў у транспарціроўцы газу
Значэнне высакачыстых трубаправодаў у транспарціроўцы высакачыстага газу. Падчас плаўлення нержавеючай сталі кожная тона можа паглынуць каля 200 г газу. Пасля апрацоўкі нержавеючай сталі на яе паверхні не толькі затрымліваюцца розныя забруджвальныя рэчывы, але і пэўная колькасць газу паглынаецца яе металічнай рашоткай. Калі праз трубаправод праходзіць паветраны паток, частка газу, паглынутая металам, зноў трапляе ў паветраны паток і забруджвае чысты газ.
Калі паток паветра ў трубе перарывісты, у трубе ўтвараецца адсорбцыя пад ціскам газу, які праходзіць праз яе. Калі паток паветра спыняецца, газ, адсарбаваны трубой, утварае аналіз зніжэння ціску, і аналізаваны газ таксама трапляе ў чысты газ у трубе ў якасці прымешкі.
Адначасова, цыкл адсорбцыі і аналізу прывядзе да таго, што метал на ўнутранай паверхні трубы выпрацоўвае пэўную колькасць парашка. Гэтыя часціцы металічнага пылу таксама забруджваюць чысты газ у трубе. Гэтая характарыстыка трубы вельмі важная. Для забеспячэння чысціні транспартаванага газу неабходна не толькі надзвычай гладкая ўнутраная паверхня трубы, але і высокая зносаўстойлівасць.
Калі газ мае моцныя каразійныя ўласцівасці, для трубаправодаў неабходна выкарыстоўваць каразійна-ўстойлівыя трубы з нержавеючай сталі. У адваротным выпадку на ўнутранай паверхні трубы з-за карозіі з'явяцца плямы карозіі. У цяжкіх выпадках буйныя кавалкі металу будуць адслойвацца або нават праколвацца, тым самым забруджваючы чысты газ, які транспартуецца.
03Матэрыял трубы
Выбар матэрыялу трубы павінен адпавядаць патрэбам выкарыстання. Якасць трубы звычайна вымяраецца шурпатасцю ўнутранай паверхні трубы. Чым меншая шурпатасць, тым меншая верагоднасць таго, што яна будзе пераносіць часціцы. Звычайна трубы падзяляюцца на тры тыпы:
Адзін з іхТруба маркі 316L з устойлівасцю да EP, які быў электралітычна адпаліраваны (электрапаліроўка). Ён устойлівы да карозіі і мае нізкую шурпатасць паверхні. Rmax (максімальная вышыня ад піка да западзіны) складае каля 0,3 мкм або менш. Ён мае найвышэйшую плоскасць і не лёгка ўтварае мікравіхравыя токі. Выдаліце забруджаныя часціцы. Рэакцыйны газ, які выкарыстоўваецца ў працэсе, павінен падавацца па трубах на гэтым узроўні.
Адзін з іх —Марка BA 316Lтруба, якая прайшла апрацоўку метадам светлага адпалу і часта выкарыстоўваецца для газаў, якія кантактуюць са стружкай, але не ўдзельнічаюць у рэакцыі працэсу, такіх як GN2 і CDA. Адной з іх з'яўляецца труба AP (адпал і зборка), якая не праходзіць спецыяльнай апрацоўкі і звычайна выкарыстоўваецца для падвойных камплектаў вонкавых труб, якія не выкарыстоўваюцца ў якасці газаправодаў.
04 Будаўніцтва трубаправодаў
Апрацоўка вусця трубы з'яўляецца адным з ключавых момантаў гэтай будаўнічай тэхналогіі. Рэзка і папярэдняя зборка трубаправода выконваюцца ў чыстым асяроддзі, і ў той жа час гарантуецца, што перад рэзкай на паверхні трубаправода няма шкодных слядоў або пашкоджанняў. Падрыхтоўка да прамывання азотам у трубаправодзе павінна быць праведзена перад адкрыццём трубаправода. У прынцыпе, зварка выкарыстоўваецца для злучэння высокачыстых і высокачыстых газаправодаў для перадачы і размеркавання газу з вялікім патокам, але непасрэдная зварка не дапускаецца. Павінны выкарыстоўвацца абсадныя злучэнні, і матэрыял труб не павінен змяняць структуру падчас зваркі. Калі зварваецца матэрыял з занадта высокім утрыманнем вугляроду, паветрапранікальнасць зварачнай часткі прывядзе да пранікнення газу ўнутры і звонку трубы адзін у аднаго, парушаючы чысціню, сухасць і чысціню транспартнага газу, што прывядзе да сур'ёзных наступстваў і паўплывае на якасць прадукцыі.
Карацей кажучы, для газаправодаў высокай чысціні і спецыяльных газаправодаў неабходна выкарыстоўваць спецыяльна апрацаваную трубу з нержавеючай сталі высокай чысціні, што робіць сістэму трубаправодаў высокай чысціні (у тым ліку трубаправоды, трубаправодную арматуру, клапаны, VMB, VMP) жыццёва важнай задачай у размеркаванні газу высокай чысціні.
Час публікацыі: 26 лістапада 2024 г.