1. Вызначэнне сістэмы газаабмену:
Захоўванне і кантроль ціску інэртных газаў Тыпы газаў: тыповыя інэртныя газы (азот, аргон, сціснутае паветра і г.д.)
Памер трубаправода: ад 1/4 цалі (трубаправод маніторынгу) да 12-цалевага асноўнага трубаправода
Асноўнымі прадуктамі сістэмы з'яўляюцца: дыяфрагменны клапан/сільфонны клапан/шаравы клапан, раз'ём высокай чысціні (VCR, зварны), раз'ём з абцугам, клапан рэгулявання ціску, манометр і г.д.
У цяперашні час новая сістэма таксама ўключае ў сябе сістэму спецыяльнага газу на вагу, у якой для захоўвання і транспарціроўкі выкарыстоўваюцца стацыянарныя газавыя балоны або аўтацыстэрны.
2. Вызначэнне сістэмы ачысткі:
Выдаленне прымешак з газаў для газаправодаў высокай чысціні
3. Вызначэнне газавых шаф:
Забяспечваць кантроль ціску і маніторынг расходу спецыяльных крыніц газу (таксічныя, лёгкаўзгаральныя, рэактыўныя, агрэсіўныя газы), а таксама мець магчымасць замяняць газавыя балоны.
Месцазнаходжанне: Размешчана на падпаверху або ніжнім паверсе для захоўвання спецыяльных газаў Крыніца: NF3, SF6, WF6 і г.д.
Памер трубаправода: унутраны газаправод, звычайна 1/4 цалі для тэхналагічнага трубаправода, 1/4-3/8 цалі ў асноўным для трубаправода з высакаякасным азотам.
Асноўная прадукцыя: мембранныя клапаны высокай чысціні, зваротныя клапаны, манометры, раздымы высокай чысціні (VCR, зварачныя формы). Гэтыя газавыя шафы ў асноўным маюць функцыі аўтаматычнага пераключэння балонаў для забеспячэння бесперапыннай падачы газу і бяспечнай замены балонаў.
4. Вызначэнне размеркавання:
Падключэнне крыніцы газу да газазборнай шпулькі
Памер лініі: на заводзе па вытворчасці чыпсаў памер размеркавальнага трубаправода для аб'ёмнага газу звычайна вагаецца ад 1/2 да 2 цаляў.
Форма злучэння: Спецыяльныя газаправоды звычайна злучаюцца зваркай, без якіх-небудзь механічных злучэнняў або іншых рухомых частак, галоўным чынам таму, што зварачнае злучэнне мае высокую надзейнасць герметызацыі.
На заводзе па вытворчасці мікрасхем сотні кіламетраў труб, злучаных для перадачы газу, маюць даўжыню каля 6 метраў і звараныя разам. Таксама вельмі распаўсюджаныя некаторыя выгібы труб і зварныя злучэнні труб.
5. Вызначэнне шматфункцыянальнай клапаннай скрынкі (Valve Manifold Box, VMB):
Гэта размеркаванне спецыяльных газаў ад крыніцы газу да розных канцоў абсталявання.
Унутраны памер трубаправода: тэхналагічны трубаправод 1/4 цалі і прадуўны трубаправод 1/4 - 3/8 цалі. Сістэма можа выкарыстоўваць камп'ютэрнае кіраванне, каб патрабаваць прывадных клапанаў або больш эканамічна эфектыўных сітуацый з ручнымі клапанамі.
Сістэмныя вырабы: мембранныя клапаны/сільфонныя клапаны высокай чысціні, зваротныя клапаны, злучэнні высокай чысціні (VCR, мікразварка), рэгулявальныя клапаны ціску, манометры і манометры і г.д. Для размеркавання некаторых інэртных газаў у асноўным выкарыстоўваецца клапанная калектарная панэль - VMP (шматфункцыянальны дыск клапана), якая мае адкрытую паверхню газавага дыска і не патрабуе канструкцыі замкнёнай прасторы і дадатковай прадуўкі азотам.
6. Вызначэнне другаснай клапаннай пласціны/скрыні (панэлі падключэння інструмента):
Падключыце газ, неабходны для паўправадніковага абсталявання, ад крыніцы газу да канца абсталявання і забяспечце адпаведнае рэгуляванне ціску. Гэтая панэль — сістэма кіравання газам, якая знаходзіцца бліжэй да канца абсталявання, чым шматфункцыянальная клапанная скрынка (VMB).
Памер газаправода: 1/4 - 3/8 цалі
Памер трубаправода для вадкасці: 1/2 - 1 цаля
Памер выпускнога трубаправода: 1/2 - 1 цаля
Асноўная прадукцыя: дыяфрагменны клапан/сільфонны клапан, аднабаковы клапан, клапан рэгулявання ціску, манометр, манометр, высакаякасныя злучэнні (VCR, мікразварка), наканечнікавыя злучэнні, шаравыя клапаны, шлангі і г.д.
Час публікацыі: 22 лістапада 2024 г.